PCE-22-LD是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達 150℃。此款設備可用 于清洗各種基片，為制作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗 SEM＆TEM,紫外對聚合物改性等。

紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別清洗手段，特別適合清除一些有機化合物，紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm 和 254nm，其中 185nm 的光可把空 氣中的氧氣變為臭氣，254nm 可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的 光組合可有效的清除有機化合物。

產品特點

僅室內使用；海拔高度 5500 英尺以內；

溫度范圍：5-40℃；

最大相對濕度 80%，最高 30.5℃，40℃線性降至 50%相對濕度； · 主電源波動不超過額定電壓的 10%；

污染等級 2；臭氧水平（環境）測量＜45ppb

去除分子級別的污染物

清洗 MEMS 器件

清洗各種基片，如 si,Ge,GaAs 和各種氧化物單晶基片

技術指標：

腔體＆樣品臺參數：

不銹鋼殼體

抽屜式樣品臺，以便放樣取樣（如下圖 1）

基片臺尺寸：310mm*320mm

臭氧通風裝置安裝在腔體上

樣品臺與紫外燈的距離：20mm-40mm 范圍內可調（圖 2） · 樣品臺可以加熱，最高溫度可達 150℃

可設置 8 段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

照射設定時間：1min-9999min

觸摸屏參數：

一個 4.5 英寸的觸摸屏控制設備的加熱以及清洗功能

點擊觸摸屏上的“溫控程序”即可進入程序設置界面，內置溫控儀 表采用 PID方式調節，可設置 30段升溫程序，設備只顯示 8 段升溫程 序，可根據實際要求進行添加

設備加熱前需進行預熱處理

排氣口參數：

直徑為 80mm的排氣口安裝在儀器后端

請將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

橡膠管長度 8 米

紫外燈參數：

UV燈管：210W

功率：55W

發出光的波長：254nm 和 185nm

照射區域：200*200mm

可以清潔直徑最大為 12 英寸×35mm的晶體晶片

電源：AC 220V 50HZ/60hz

功率：最大 1000W（加熱功率為 800W）

外形尺寸：550mm（L）*520mm（W）*335mm（H）

重量：約 30KG